remplissage des rainures isolantes en V par silicium polycristallin
- remplissage des rainures isolantes en V par silicium polycristallin
- izoliavimo V griovelių užpildymas polikristaliniu siliciu
statusas T sritis radioelektronika
atitikmenys: angl. V-groove isolation polycrystal backfill
vok. Ausfüllen von V-Gräben mit isolierendem Polysilizium, n
rus. заполнение V-образных изолирующих канавок поликристаллическим кремнием, n
pranc. remplissage des rainures isolantes en V par silicium polycristallin, m
Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“.
Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas.
2000.
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